MEMS傳感器所使用的分析測(cè)量芯片，是采用MEMS工藝技術(shù)制作而成的，其加工精度下至納米尺度，上至毫米尺度，利用MEMS工藝技術(shù)制作的傳感器芯片具有小尺寸、高可靠性、高穩(wěn)定性、便于集成、可定制的特點(diǎn)。 芯片是傳感器的核心，相當(dāng)于人的大腦，MEMS工藝芯片，相比起傳統(tǒng)芯片，在小尺寸、可靠性、穩(wěn)定性方面的優(yōu)勢(shì)更為明顯，能夠讓傳感器發(fā)揮更加精良的樣本采集和數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化效果，帶給用戶更好的環(huán)境監(jiān)測(cè)體驗(yàn)。